多晶铸锭方坩埚喷涂及烧结作业要害进程CTQdocx

  SiO2)工艺流程图—涂层查验坩埚烧结本工序是在坩埚内壁涂上氮化硅并烧结使粉状氮化硅构成细密层，防止高温下硅料和坩埚（发生反响，增强氮化硅在坩埚上的附着力。构成的细密层抗冷热的冲击才能十分强，有用的转移铸锭工进程发生的热应力。最终卸锭时便利坩埚的掉落。烧结是使资料取得预期的显微结构以使资料功能充沛的发挥的要害工序。多晶铸锭方坩埚喷涂及烧结一、工序阐明作业要害进程CTQ坩埚就位涂料预备喷枪预备三、所用设备序号设备类型称号类型补白坩埚旋转加热器陕西咸阳华光HGZ-11坩埚烘箱陕西咸阳华光HGZ-12-12喷枪SATAPrevost电子天平称0.01g天津德安特强力拌和机JB-300上海标马运送小车飞扬不锈钢四、工艺原辅料序号分类称号描绘坩埚长、宽：873-882mm高：415-420mm底部壁厚：18.5-22.5mm侧壁厚：14.5-18.5mm氮化硅0.375kg/个纯水1600ml/个量筒5000ml/3000ml细沙网80百洁布11壁纸刀12烧杯13检测工具5m14检测工具钢尺1m15检测工具电筒强力电光筒五、环境规范温度：20-27C相对湿度：小于50%六、工艺控制点控制点规范检测的新方法补白喷涂前个人防护有必要穿防护服，戴过滤面罩和橡胶手目视防止人体吸入坩埚清氮化硅粉尘铲除粉尘用专用压力在20-30psi对坩埚均匀地吹洗，吹洗高度为5-15cm无粉尘及无洁物污染坩埚铲除不洁净物用磨石将合格范围内的凹凸打磨掉，用百洁布擦洗脏污洁净的压缩空气有必要经除水和除油的洁净和枯燥的吹洗坩埚前先吹洗纸板坩埚外包装包装箱方形纸箱，无缺无破损，没有被浸泡目视按原资料规范查验防震标明剂未呈现赤色包装箱内防震防震纸板没有破损无沾污目视不能清洁洁净的退库处理坩埚表里裂纹不允许有任何裂纹目视、千不符合外观规范的退库处理外外表四壁和底部瑕疵不能大于3mm宽，2mm深。直径1-4mm,深度1-2mm的小孔个数不能超过5量、无水乙醇坩埚内外表无肉眼可见直径大于2mm的黑点不允许有敞开的气泡和因气泡形成凸出的点不得有任何孔洞和气泡和凹痕等缺喷涂一个坩埚氮化硅与DI水配比为375g1600ml电子称称量、量筒、出产职工严厉按喷涂规范操拌和时刻电流4档高速拌和10min,电流3低速拌和10min,喷涂中坚持中低速拌和喷涂时喷枪与坩埚间隔为25-30cm,喷枪压力为20-30psi喷枪与坩埚喷涂面视点9020喷涂前坩埚预热20-30min,喷涂运用德国氮化硅要求喷涂时温度为55-70C,日本氮化硅温度要求45-60C。喷涂时长50-70mi烘箱内坩埚之间间隔3-5cm直角尺丈量、温度烧结工艺未经工艺工程师许升温阶段升温约8小时，到达最高温度1095C恒温阶段坚持1095度恒温约3小时冷却阶段封闭加热器，随炉冷却，当温度下降到350C以下时，可翻开炉腔，冷却时刻为约25小时坩埚烘箱升起温度350C烧结后坩埚不发生裂纹，不发生析晶白点目视发生裂纹的制止运用氮化硅包装包装桶无变形、破损、开封，塑料密封袋无损坏、决裂目视参阅原资料查验规范色彩白色气味略带氨水气味形状颗粒粉末，无结块目视纯度98%参阅厂豕技术规范七、半成品规范涂层均匀，显现淡黄色，无显着的色彩改变，无白点、白片，无气泡，无掉落及爆皮现象，无裂纹八、现在运转工艺氮化硅375gDI1600ml喷涂前咼速拌和10mi喷涂前低速拌和10mi喷涂中低速拌和继续拌和滤网80喷枪与干锅内壁间隔25-30cm喷枪压力20-30psi喷涂温度（日本氮化硅）45-60C喷涂温度（德国氮化硅）55-70C干锅预热20-30min喷涂时长50-70mi清洗后坩埚坚持加热100C,小时之后第一步温度及时刻235C一小时第二步温度及时刻368C一小时第二步温度及时刻501C一小时第四步温度及时刻634C一小时第五步温度及时刻767C一小时第六步温度及时刻900C一小时第七步温度及时刻1000C一小时第八步温度及时刻1095C一小时第九步温度及时刻1095C/保温三小第十步温度及时刻0C/15min升起烘箱温度350C转移：俩人戴手套、双手托底转移，防止磕碰。